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适用于无尘室等级CALSS10(SGS验证),高速(2000mm/sec)、高精度(±0.01mm)
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A系列 (悬臂)
适用于无尘室等级CALSS10(SGS验证),高速(2000mm/sec)、高精度(±0.01mm)
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G系列 (龙门)
适用于无尘室等级CALSS10(SGS验证),高速(2000mm/sec)、高精度(±0.01mm)
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M 系列 (滑台移動)
适用于无尘室等级CALSS10(SGS验证),高速(2000mm/sec)、高精度(±0.01mm)
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F 系列 (X-Z)
适用于无尘室等级CALSS10(SGS验证),高速(2000mm/sec)、高精度(±0.01mm)
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